Čerpací rychlost | |||
N2 | 250 l/s | ||
He | 255 l/s | ||
H2 | 220 l/s | ||
Ar | 250 l/s | ||
Průtok plynu při plných otáčkách (s doporučenou primární pumpou) | Air Cooling (25°C) | Water Cooling (25°C, 50 l/h) | |
N2 | 170 sccm | 170 sccm | |
Ar | 110 sccm | 110 sccm | |
Kompresní poměr & Maximální vstupní tlak | |||
N2 | > 1 x 1011 (> 10 mbar) | ||
He | > 1 x 108 (> 10 mbar) | ||
H2 | 1.5 x 106 (> 6 mbar) | ||
Ar | > 1 x 1011 (> 10 mbar) | ||
Mezní tlak s dopuručenou primární pumpou (5m3/h) | < 1 x 10-10 mbar | ||
(< 1 x 10-10 Torr) | |||
Vstupní příruba | CFF 8" | ||
CFF 6” | |||
ISO 160 | |||
ISO 100 | |||
Vstupní příruba primární pumpy | KF16 NW (KF25 – volitelně) | ||
Rotační rychlost | 60000 rpm (1010 Hz řídicí frekvence) | ||
Doba spuštění | < 3 minuty | ||
Doporučená primární pumpa | olejová pumpa: Agilent DS 102 | ||
suchá pumpa: Agilent SH 110 | |||
Normální provozní teplota | +5 °C to +35 °C | ||
Max teplota příruby během bake-out (bez toku plynu) | Max at inlet flange: 80°C (ISO flange); 120°C (CFF flange) | ||
Mazání | Permanentní mazání | ||
Požadavky na chlazení | Voda (nezbytné pokud je okolní teplota > 35 °C) | ||
Hluk | < 50 dB(A) v 1 metru | ||
Teplota uskladnění | -40° C to +70° C | ||
Hmotnost kg (lbs): | |||
Pumpa ISO 100 | 5.5 kg (12.3) | ||
Pumpa CFF 6’’ | 7.5 kg (16.5) | ||
Pumpa ISO 160 | 5.7 kg (12.6) | ||
Pumpa CFF 8’’ | 9.7 kg (20.9) |